HEPA過(guò)濾器檢漏也稱為高效過(guò)濾器檢漏,方法有鈉焰法,油霧法,DOP法,MPPS法,阻力測(cè)試。,HEPA代表高效微??諝?,HEPA過(guò)濾器是潔凈室的重要元素之一。它們由一個(gè)大型的箱形過(guò)濾器組成,可非常有效地去除特定尺寸的空氣中的顆粒。還必須定期對(duì)其進(jìn)行監(jiān)視和測(cè)試,以確保它們?nèi)匀皇?的。
HEPA過(guò)濾器由無(wú)序排列的纖維氈組成,通常由直徑在0.5到2.0微米之間的玻璃纖維組成。影響功能的關(guān)鍵因素是纖維直徑,過(guò)濾器厚度和過(guò)濾器表面速度。
用于潔凈室和受控環(huán)境的高效顆粒空氣(HEPA)過(guò)濾器制造商測(cè)試其產(chǎn)品的顆粒去除效率。同樣,將設(shè)備安裝在用戶的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)后,應(yīng)立即執(zhí)行測(cè)試以驗(yàn)證過(guò)濾器和安裝的完整性。通常,HEPA過(guò)濾器可捕獲高達(dá)99.97%的小至0.3微米的顆粒。
分散油粒測(cè)試或完整性測(cè)試是一種測(cè)試程序,可確保HEPA過(guò)濾器滿足其效率規(guī)格并正確放置并密封在其框架中。
分散油粒(DOP)掃描測(cè)試(也稱為過(guò)濾器完整性測(cè)試或高效過(guò)濾性泄漏測(cè)試)是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中引用多的方法之一。建議定期進(jìn)行測(cè)試,以驗(yàn)證過(guò)濾器的持續(xù)效率。在測(cè)試過(guò)程中,過(guò)濾器面臨引入顆粒物和測(cè)量輸出的挑戰(zhàn)。
HEPA過(guò)濾器泄漏測(cè)試在各種標(biāo)準(zhǔn)中均已強(qiáng)制執(zhí)行,包括FDA工業(yè)指南:無(wú)菌加工生產(chǎn)的無(wú)菌藥品– cGMP和世界衛(wèi)生組織技術(shù)報(bào)告叢書(shū),第961號(hào)。對(duì)于潔凈室檢測(cè),ISO 14644-3標(biāo)準(zhǔn)提供進(jìn)一步的指導(dǎo)。
自1950年代以來(lái)使用的傳統(tǒng)氣溶膠光度測(cè)試方法足以通過(guò)DOP掃描測(cè)試進(jìn)行0.003%的測(cè)量。為了進(jìn)行準(zhǔn)確的過(guò)濾器泄漏測(cè)試,必須確保所測(cè)試的過(guò)濾器的整個(gè)上游面的氣溶膠濃度均勻。這稱為空間均勻性。否則,高或低的局部濃度可能會(huì)導(dǎo)致過(guò)濾器錯(cuò)誤地通過(guò)測(cè)試或失敗。ISO 14644-3建議,測(cè)試氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過(guò)±15%。應(yīng)當(dāng)驗(yàn)證過(guò)濾器上游挑戰(zhàn)的均勻性。
如果無(wú)塵室套件是測(cè)試的目標(biāo),則在空氣處理單元(AHU)之后立即注入挑戰(zhàn)性氣霧劑。當(dāng)空氣到達(dá)過(guò)濾器時(shí),測(cè)試顆粒在風(fēng)道內(nèi)充分混合,從而導(dǎo)致每個(gè)終端過(guò)濾器背面的濃度均勻。
如果不能在AHU之后立即注入氣霧劑,則必須將氣霧劑從過(guò)濾器中引入至少15至20的管道直徑。
前兩個(gè)由油型液體形成。聚苯乙烯乳膠(PSL)于微電子應(yīng)用,而聚α烯烴(PAO)在生命科學(xué)中。表1中的信息描述了用于HEPA測(cè)試的典型挑戰(zhàn)氣霧劑。
在開(kāi)始過(guò)濾器掃描之前,有必要設(shè)置過(guò)濾器上游的測(cè)試氣溶膠顆粒濃度。ISO 14644-3標(biāo)準(zhǔn)建議,光度測(cè)試方法應(yīng)使用10µg / l和100µg / l的濃度范圍。這也表明低于20µg / l的濃度會(huì)降低靈敏度,而超過(guò)80µg / l的濃度會(huì)導(dǎo)致過(guò)濾器結(jié)垢。使用較低的推薦濃度,以降低堵塞或滲漏事件的可能性。
后一個(gè)建議:如果發(fā)現(xiàn)HEPA過(guò)濾器中有泄漏,則解決問(wèn)題的方法是遵循建議的填充修補(bǔ)程序。IEST RP-CC034.2中的各個(gè)部分均規(guī)定:“填充修復(fù)不應(yīng)阻塞或限制過(guò)濾器表面積的額外3%,并且單個(gè)修復(fù)的尺寸都不應(yīng)超過(guò)3.8厘米(1.5英寸)。” 維修完成后,在適當(dāng)?shù)墓袒瘯r(shí)間后才能放置補(bǔ)丁,請(qǐng)檢查維修區(qū)域附近是否有泄漏。
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